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千禧年半导体生存指南

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第五章 承上启下的发现
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  仅是地理上的距离,更是时间上的距离。

  周新发给胡正明的解答,是胡正明自己在2000年的论文,发表在2000年的IEEE集成电路会议论文集上,在胡正明超过九百篇论文里被引用次数排名第八。

  虽然排名不是很高,但是却起到了承上启下的作用。

  胡正明最大的贡献是,将半导体的2D结构,研发优化出了3D结构,也就是FinFET。

  从1960年到2010年左右,基本的平面(2D)MOSFET结构一直保持不变,直到进一步增加晶体管密度和降低器件功耗变得不可能。

  胡正明在加州大学伯克利分校的实验室早在1995年就看到了这一点。

  FinFET作为第一个3DMOSFET,将扁平而宽的晶体管结构变为高而窄的晶体管结构。好处是在更小的占地面积内获得更好的性能,就像在拥挤的城市中多层建筑相对于单层建筑的优势一样。

  FinFET也就是所谓的薄体(thin-body)MOSFET,这一概念继续指导新设备的开发。

  它源于这样一种认识,即电流不会通过硅表面几纳米内的晶体管泄漏,因为那里的表面电势受到栅极电压的良好控制。

  FinFET牢记这种薄体概念。该器件的主体是垂直的硅鳍片,被氧化物绝缘体和栅极金属覆盖,在强栅极控制范围之外没有留下任何硅。FinFET将漏电流降低了几个数量级,并降低了晶体管工作电压。它还指出了进一步改进的路径:进一步降低厚度。

  而电流不会通过硅表面几纳米内的晶体管泄漏,因为那里的表面电势受到栅极电压的良好控制,这一概念,正是MOSFET进行互连建模在实验室进行复现后发现的。

  周新不可能告诉胡正明,这是你自己发现的。

  不过由于周新对于胡正明最重要的论文,都做过精读,对于当时是如何思考,有自己的分析。

  这些分析和二十年后的老胡交流过程中,也获得了对方的认可。
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